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博特激光:晶圆切割机砂轮刀片如何选型

发表时间:2021-10-12 15:45:35   浏览量:80
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受国际形势影响,目前半导体精原材料在不断的变化,这也对晶圆切割机尤其是其划片刀的性能,也提出了新的要求,无论是在加工效率还是在质量上都有着更高的标准。国产切割机就目前来看总共是划分为激光划片和超薄金刚石划片两种。


晶圆切割机砂轮刀片如何选型

考虑到金刚石磨粒在整个切割的过程中是起到了极其重要的切削作用,通常情况下,材料的选择是以人造金刚石和立方碳化硼为主。其颗粒尺寸应该是在1-8um之间变化。但是为了能够达到更好的切割质量,因此通常会选择带有棱角的金刚石,所以在选型上就需要注重磨粒的尺寸度问题以及结合剂特性和刀刃的长度以及厚度。


未来随着芯片技术也正在朝着小型化大容量化方向发展,整体的结构会变得愈加复杂,并且其有效空间会越来越狭窄。而这也就导致切割空间以及切割技术的要求是变得越来越高,对此划片刀的制作工序和工艺也要不断提高,同时还需要更多的先进技术和工艺,要严格控制滑刀片轮毂的平整度和表面的粗糙度等问题。

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